X 方向：180mm

Z1（传感器）：±15mm

立柱高度：500mm（有效量程）

最小内孔：20mm （标配）

测量范围

X 方向（L=X 移动导

轨距离）精度：±（1+0.02L）μm

Z 方向（H=Z 轴方向测

量高度）精度：±（0.8+0.05H）μm

圆弧精度：≤±（1＋R/8）μm

角度误差：≤±1

直线度：≤0.5μm/100mm

轮廓仪部份技术参数

Z1（传感器）：±500μm

示值误差：±（10nm+0.05A）

测量重复性：3%

残值噪声：≤0.005μm

截止长度：0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm）

评定长度：1.2.3.4.5

粗糙度部份技术

参数

类型：光栅式

分辨率：0.1μm

传感器

分辨率：0.1μm

产地：国产

X 轴

上升 77° 下降 88°

爬坡角度

0.2mm-0/8mm/s（分四档自动调速）

测量速度（轮廓）

X 方向：180mm

Z1（传感器）：±15mm

立柱高度：500mm（有效量程）

最小内孔：20mm （标配）

测量范围

X 方向（L=X 移动导

轨距离）精度：±（1+0.02L）μm

Z 方向（H=Z 轴方向测

量高度）精度：±（0.8+0.05H）μm

圆弧精度：≤±（1＋R/8）μm

角度误差：≤±1

直线度：≤0.5μm/100mm

轮廓仪部份技术参数

Z1（传感器）：±500μm

示值误差：±（10nm+0.05A）

测量重复性：3%

残值噪声：≤0.005μm

截止长度：0.08、0.25、0.8、2.5、8（mm）

评定长度：1.2.3.4.5

粗糙度部份技术

参数

类型：光栅式

分辨率：0.1μm

传感器

分辨率：0.1μm

产地：国产

X 轴

上升 77° 下降 88°

爬坡角度

0.2mm-0/8mm/s（分四档自动调速）

测量速度（轮廓）