320μm

Z轴（垂直）

17.5mm

X轴（水平）

0．001μm/±20μm

0．002μm/±40μm

0．004μm/±80μm

Z轴（垂直）

Ra、Rz、Rq、Rt、Rmax、Rc、Rp、Rv、R3z、R3y、

Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr、RPc

参数

ISO4287国际标准；ANSI B46.1美国标准；

DIN4768德国标准；JIS B601日本标准

标准

支承率曲线，粗糙度，原始轮廓，滤波波形

图形

RC,PC-RC,Gauss,D-P滤波器

滤波器

0.25,0.8,2.5mm

取样长度(lr)

Ln= lr×n    n=1~5

评定长度（ln）

±20μm; ±40μm; ±80μm; ±160μm;

量程设置

位移式差动电感式

测量原理

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

触针

<4mN

测力

硬质合金，滑行方向半径40mm

导头

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

滑行速度

不大于±10%

示值误差

不大于3%

示值变动性

内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电

电源

158x63.5x46mm

外形尺寸

约300g

重量

温度：- 20℃ ~  40℃     湿度：< 90% RH

工作环境

温度：- 40℃  ~   60℃   湿度：< 90% RH

储存运输环境

320μm

Z轴（垂直）

17.5mm

X轴（水平）

0．001μm/±20μm

0．002μm/±40μm

0．004μm/±80μm

Z轴（垂直）

Ra、Rz、Rq、Rt、Rmax、Rc、Rp、Rv、R3z、R3y、

Rz(JIS)、Ry(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr、RPc

参数

ISO4287国际标准；ANSI B46.1美国标准；

DIN4768德国标准；JIS B601日本标准

标准

支承率曲线，粗糙度，原始轮廓，滤波波形

图形

RC,PC-RC,Gauss,D-P滤波器

滤波器

0.25,0.8,2.5mm

取样长度(lr)

Ln= lr×n    n=1~5

评定长度（ln）

±20μm; ±40μm; ±80μm; ±160μm;

量程设置

位移式差动电感式

测量原理

天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径

触针

<4mN

测力

硬质合金，滑行方向半径40mm

导头

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

滑行速度

不大于±10%

示值误差

不大于3%

示值变动性

内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电

电源

158x63.5x46mm

外形尺寸

约300g

重量

温度：- 20℃ ~  40℃     湿度：< 90% RH

工作环境

温度：- 40℃  ~   60℃   湿度：< 90% RH

储存运输环境